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薄膜制備小型磁控濺射儀是一種用于物理學(xué)領(lǐng)域的物理性能測(cè)試儀器，用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。薄膜制備小型磁控濺射儀設(shè)備由磁控濺射...